发射探针及用于等离子体诊断的方法

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摘要

本发明提供一种发射探针及用于等离子体诊断的方法，属于等离子体诊断技术领域，包括支架；支架的一端设有电子发射部；支架的外部设有偏置电压加载部，偏置电压加载部位于靠近电子发射部的一端；其中，使用的发射探针进行等离子体诊断时，电子发射部的一端和偏置电压加载部均连接外部偏置电压加载电路。本发明等离子体空间电位由发射探针零发射极限时的伏安特性曲线的拐点电势直接给出，测量过程简单，避免了电子发射电流对特性曲线的影响，降低了发射探针灯丝温度对等离子体的扰动影响，延长了发射探针使用寿命，提高了等离子体的电子密度以及电子能量分布函数等参数的计算准确性，保证对等离子体空间电位测量结果的准确性。

基本信息

专利标题：

发射探针及用于等离子体诊断的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113543439A

申请号：

CN202110784868.5

公开（公告）日：

2021-10-22

申请日：

2021-07-12

授权号：

CN113543439B

授权日：

2022-06-07

发明人：

李建泉谢新尧张清和邢赞扬李延辉郭新

申请人：

山东大学

申请人地址：

山东省威海市文化西路180号

代理机构：

济南圣达知识产权代理有限公司

代理人：

朱忠范

优先权：

CN202110784868.5

主分类号：

H05H1/00

IPC分类号：

H05H1/00 H05H1/24