用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统
授权
摘要
本公开提供了一种用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统，包括：多个朗缪尔探针、多通道电流采集电路和处理器，各个朗缪尔探针的探测端设置在待测区域的不同位置，朗缪尔探针与电流采集电路连接，处理器与电流采集电路连接；处理器根据接收到的各个朗缪尔探针的电流信号得到等离子体参数，根据得到的等离子体参数以及各个朗缪尔探针的位置信息得到区域等离子体分布；多个并行通道的设计可以获得真正的等离子体实时分布，弥补了现有技术通过通道切换来实现多路采集的缺点，同时通过对多路数据的并行处理，得到了更准确的等离子体分布结果。
基本信息
专利标题 ：
用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113179574A
申请号 ：
CN202110441671.1
公开（公告）日 ：
2021-07-27
申请日 ：
2021-04-23
授权号 ：
CN113179574B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
杜清府王进纪仕鑫郭怀龙张清和邢赞扬李延辉李建泉郭新
申请人 ：
山东大学
申请人地址 ：
山东省威海市文化西路180号
代理机构 ：
济南圣达知识产权代理有限公司
代理人 ：
祖之强
优先权 ：
CN202110441671.1
主分类号 ：
H05H1/00
IPC分类号 ：
H05H1/00
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-08-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/00
申请日 : 20210423
申请日 : 20210423
2021-07-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
