伸缩式冷热探针组件、等离子体诊断系统及诊断方法
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摘要
本发明公开了一种伸缩式冷热探针组件、等离子体诊断系统及诊断方法，包括：共轴安装的冷探针组件和热探针组件；所述冷探针组件包括绝缘套管和设置在绝缘套管末端的球形探针；所述球形探针上设有设定大小的狭缝；热探针组件设置于所述绝缘套管内部，所述热探针组件包括热探针灯丝，所述热探针灯丝通过绝缘支架与伸缩件连接，所述伸缩件能够使得热探针灯丝自所述狭缝伸出绝缘套管或收回绝缘套管内部。本发明等离子体空间电位由发射探针的零发射极限拐点电势法获得，在等离子体空间电位测量方面，发射探针技术比单探针技术更可靠。
基本信息
专利标题 ：
伸缩式冷热探针组件、等离子体诊断系统及诊断方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113225887A
申请号 ：
CN202110512622.2
公开（公告）日 ：
2021-08-06
申请日 ：
2021-05-11
授权号 ：
CN113225887B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
李建泉张清和邢赞扬李延辉郭新杜清府
申请人 ：
山东大学
申请人地址 ：
山东省威海市文化西路180号
代理机构 ：
济南圣达知识产权代理有限公司
代理人 ：
董雪
优先权 ：
CN202110512622.2
主分类号 ：
H05H1/00
IPC分类号 ：
H05H1/00
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-08-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05H 1/00
申请日 : 20210511
申请日 : 20210511
2021-08-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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