用于控制探针温度的方法
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摘要
本申请公开了一种用于控制探针温度的方法。探针包括悬臂部分、尖端以及控制器。尖端位于悬臂部分末端并从悬臂部分突出。尖端包括底座、针尖部和从底座延伸的多个支撑臂，各支撑臂在远离底座的端部连接至针尖部。底座内设有多个电极，多个电极包括加热电极和感测电极。本发明的方法，通过精确控制探针的温度，能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。
基本信息
专利标题 ：
用于控制探针温度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110146726A
申请号 ：
CN201910427559.5
公开（公告）日 ：
2019-08-20
申请日 ：
2019-05-22
授权号 ：
CN110146726B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
杨晓峰胡绘钧
申请人 ：
季华实验室
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区桂城南平西路13号承业大厦13层
代理机构 ：
上海上谷知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡继清
优先权 ：
CN201910427559.5
主分类号 ：
G01Q70/00
IPC分类号 ：
G01Q70/00 G01Q70/02 G01Q70/08 G01Q80/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q70/00
SPM探针的一般方面，其制造或有关的使用仪器，它们不专门适用于包括在大组G01Q60/00中的单独的SPM技术
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2019-09-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 70/00
申请日 : 20190522
申请日 : 20190522
2019-08-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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