温度控制方法

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摘要

本发明提供一种能够将电容耦合型的等离子体处理装置的上部电极冷却并且使该上部电极的温度在短时间上升的温度控制方法。一实施方式的温度控制方法包括冷却上部电极的步骤和使上部电极的温度上升的步骤。在上部电极内形成有具有入口和出口的流路。上部电极构成蒸发器。在流路的出口和入口之间依次连接有压缩机、冷凝器和膨胀阀。在压缩机的输出端与入口之间以绕过冷凝器和膨胀阀的方式连接有分流阀。在冷却上部电极的步骤中，经由压缩机、冷凝器和膨胀阀将制冷剂供给到流路。在使上部电极的温度上升的步骤中，打开分流阀并且加热上部电极。

基本信息

专利标题：

温度控制方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110389607A

申请号：

CN201910316601.6

公开（公告）日：

2019-10-29

申请日：

2019-04-19

授权号：

CN110389607B

授权日：

2022-04-05

发明人：

三森章祥山口伸

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

优先权：

CN201910316601.6

主分类号：

G05D23/20

IPC分类号：

G05D23/20