一种用于等离子体诊断的中空探针
授权
摘要
一种用于等离子体诊断的中空探针，属于等离子体科学参数测量技术领域，包括中空壳体、绝缘套管和金属导线，所述的中空壳体一端为封闭端，另一端为开放端，所述的绝缘套管通过开放端进入中空壳体内部且与中空壳体固定连接，所述的中空壳体位于绝缘套管的外侧，所述绝缘套管与中空壳体之间有间隙，所述的金属导线安装在绝缘套管内，金属导线的一端与中空壳体相导通，另一端延伸至绝缘套管外部。能够用于导电薄膜沉积环境等离子体诊断，避免探针与绝缘支架上的导电镀膜短路而报废，并且能够更准确地测量获得等离子体的密度。
基本信息
专利标题 ：
一种用于等离子体诊断的中空探针
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921106442.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-16
授权号 ：
CN210444550U
授权日 ：
2020-05-01
发明人 ：
陆文琪梁健梁程
申请人 ：
上海红璨科技有限公司
申请人地址 ：
上海市奉贤区青村镇钱桥路756号2707室
代理机构 ：
北京中索知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨瑾
优先权 ：
CN201921106442.9
主分类号 ：
H05H1/00
IPC分类号 ：
H05H1/00
法律状态
2020-05-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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