一种中空CVD探针结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种中空CVD探针结构，包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，对微悬臂进行吸附固定，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。本实用新型属于磁共振技术领域，具体是指一种结构简单、不易脱针且拆卸方便的中空CVD探针结构。
基本信息
专利标题 ：
一种中空CVD探针结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921788173.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-23
授权号 ：
CN211826134U
授权日 ：
2020-10-30
发明人 ：
赵芬霞蒋荣方刘宏明王骏
申请人 ：
湖州中芯半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省湖州市吴兴区高新区中横港路33号2号厂房5号
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘晓明
优先权 ：
CN201921788173.9
主分类号 ：
G01Q60/38
IPC分类号 ：
G01Q60/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
G01Q60/38
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
法律状态
2020-10-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
