本实用新型公开了一种等离子体发射装置，包括：阳极、与所述阳极相对设置的阴极、位于所述阳极内部的永磁体、以及完全或局部环绕在所述阴极周围的辅助阴极，其中，所述阴极具有布置在永磁体上方的内极靴以及布置在内极靴两侧外部的外极靴，所述内极靴与所述外极靴之间形成两个沟道，所述内极靴和所述外极靴的彼此相对的部分具有多槽结构，从而构成多槽结构阴极。本装置对现有的等离子体发射装置的阴极结构，特别是放电沟道附近的阴极进行改进，减少阴极刻蚀，扩大放电区域，增加工作气压范围。尤其采用悬浮式辅助阴极与发射装置组成放电单元，减少污染，利于独立安装和工作。