本实用新型涉及一种矩形筒状低真空射频等离子体灭菌装置，有一矩形简状的金属容器，一端封闭，一端设有密封门，矩形筒状的金属外壳上设有过氧化氢进气口和抽真空端口，外壳内设有与外壳平行的网孔状射频电极，射频电极与外壳绝缘隔离，射频电极与射频电源的正极连接，外壳与射频电源的负极连接并接地，射频电极与外壳间形成放电区间，放电区间与过氧化氢进气口相通。采用平行于矩形筒状金属容器外壳的网孔状不锈钢电极，正负极板面积大，对过氧化氢气体的电离率高、均匀性好，灭菌效果好，且使用方便，安全可靠。