本申请提供一种射频提供装置和等离子体处理设备，射频提供装置包括射频切换盒、电感耦合线圈、法拉第平板、射频电源，射频切换盒的输入端用于连接射频电源，射频切换盒的输出端用于连接电感耦合线圈的输入端和法拉第平板的输入端，射频切换盒用于选择性地将射频电源输出的射频信号传输到电感耦合线圈或法拉第平板，电感耦合线圈包括内线圈、中线圈、外线圈和第一可调电容，中线圈包围内线圈设置，外线圈包围中线圈设置，内线圈和中线圈串联在第一通路中，外线圈位于第二通路中，即内线圈和中线圈串联后与外线圈并联，中线圈和第一可调电容并联，在优化刻蚀均一性的同时加入法拉第清洗装置，拓宽射频提供装置的应用场景。