等离子体处理装置及等离子体处理方法
公开
摘要
本发明所公开的等离子体处理装置具备产生负直流电压的直流电源。设置于腔室内的基板支承器的偏置电极交替连接于直流电源和接地。将偏置电极连接到接地之后偏置电极的电位达到接地电位为止的时间，设定为比直流电源连接到偏置电极之后偏置电极的电位达到负直流电压为止的时间长。
基本信息
专利标题 ：
等离子体处理装置及等离子体处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388325A
申请号 ：
CN202111112609.4
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
舆水地盐
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
徐殿军
优先权 ：
CN202111112609.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/3065
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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