一种射频等离子体可视化屏蔽装置
授权
摘要
本实用新型属于等离子体技术领域，涉及一种射频等离子体可视化屏蔽装置，包括放电主体和可视化屏蔽结构；所述放电主体包括介质管、正电极和接地电极，所述介质管固定在屏蔽壳内，所述可视化屏蔽结构包括电磁屏蔽玻璃；电磁屏蔽玻璃设置在屏蔽壳上。本实用新型既能在大气压条件下为射频等离子体施加屏蔽效应，又能对等离子体产生区域进行观察和调节的装置。
基本信息
专利标题 ：
一种射频等离子体可视化屏蔽装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021931079.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-07
授权号 ：
CN212936272U
授权日 ：
2021-04-09
发明人 ：
王裕高明钟子扬张永亮陆星铭黄逸凡
申请人 ：
深圳先进技术研究院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号
代理机构 ：
北京市诚辉律师事务所
代理人 ：
朱伟军
优先权 ：
CN202021931079.7
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 H05K9/00
法律状态
2021-04-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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