用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置
授权
摘要
一种用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置，其中，阴极组件包括：阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；第一固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，用于固定所述阴极替换部。所述阴极组件的阴极能够可拆卸，有利于降低阴极组件的更换成本。
基本信息
专利标题 ：
用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020779607.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN212231792U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
张宜东蔡珑元尹志尧
申请人 ：
中微惠创科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号205室
代理机构 ：
上海元好知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐雯琼
优先权 ：
CN202020779607.5
主分类号 ：
H05H1/34
IPC分类号 ：
H05H1/34
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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