等离子体发生器及其阴极模块
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子体发生器及其阴极模块，阴极模块包括阴极本体、设置在阴极本体的中心通道内的导气件、以及设置在阴极本体内且位于导气件外围的冷却通路；阴极本体的第一端封闭，相对的第二端开放与导气件相连通；阴极本体的侧面上设有连通导气件的进气接口、分别连通冷却通路的冷却剂进口和冷却剂出口；工作气体从进气接口进入导气件，通过阴极本体的第二端输出；冷却剂从冷却剂进口进入冷却通路，沿着冷却通路流通后从冷却剂出口排出。本实用新型的阴极模块，将冷却通路、工作气路等集成在为一体，结构简单，可靠性高；阴极模块可与阳极组装形成大功率的等离子体发生器，拆装便捷且耗时少，方便维护。
基本信息
专利标题 ：
等离子体发生器及其阴极模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921399176.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-26
授权号 ：
CN210609829U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
张子炜杨明辉陈明周陆杰刘夏杰陈祎司徒达志杨武魏欢饴吕永红华伟刘沪滨周祯林闪辉
申请人 ：
中广核研究院有限公司;中广核环境科技（深圳）有限责任公司;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区上步中路西深圳科技大厦15层（1502-1504、1506）
代理机构 ：
深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
林俭良
优先权 ：
CN201921399176.3
主分类号 ：
H05H1/24
IPC分类号 ：
H05H1/24
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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