本实用新型涉及等离子体发生器及其阴极。本实用新型提出的复合式阴极包括管形阴极主体、安装在阴极主体上的阴极头以及在阴极主体内的冷却水管，冷却水从冷却水管进入，由冷却水管端部的喷嘴喷到阴极头的尾部以对阴极头进行冷却，并经由冷却水管和阴极主体之间的空间回流，其特征在于，所述阴极头在阴极主体轴线方向上的尺寸大于其直径。本实用新型的等离子体发生器包括上述复合式阴极。