等离子体发生器及其阴极
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摘要
本公开涉及离子体发生器技术领域,尤其涉及一种等离子体发生器及其阴极,其中,阴极包括底座、导热件和发射体,底座内部设有散热通道,导热件的底端与底座连接,且导热件沿底端至顶端方向逐渐收缩,发射体嵌在导热件内,且发射体的前端与导热件的顶端平齐,导热件的底端设有自底端向顶端方向开设的散热槽,散热槽的槽口与散热通道连通。当阴极中的发射体消耗后,方便调节阴极与阳极之间的距离,以保证放电电压保持在预设范围内,导热件底座上设置的散热槽与散热通道连通,提高散热体的散热效果。
基本信息
专利标题 :
等离子体发生器及其阴极
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022259703.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-12
授权号 :
CN213638315U
授权日 :
2021-07-06
发明人 :
高志开陈培培孟垂舟耿金峰齐会龙李俊辉吴丽锋
申请人 :
新奥科技发展有限公司
申请人地址 :
河北省廊坊市开发区广阳道北
代理机构 :
北京开阳星知识产权代理有限公司
代理人 :
杨中鹤
优先权 :
CN202022259703.X
主分类号 :
H05H1/28
IPC分类号 :
H05H1/28 H05H1/34
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法律状态
2021-07-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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