电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置,包括:上电极组和位于上电极组下方的下电极组。其中,上电极组包括上电极板、由上电极板的顶端向该上电极板的周向外侧进行包围的上气流幕绝缘结构,以及由上气流幕绝缘结构的顶端向该上气流幕绝缘结构的周向外侧进行包围的上外屏蔽层;下电极组包括下电极板、由下电极板的顶端向该下电极板的周向外侧进行固定的下电极固定座,以及由下电极固定座的顶端向该下电极固定座的周向外侧进行包围的下外屏蔽层;下电极组位于上电极组的下方,上电极板与下电极板相向设置且在上电极组与下电极组之间存在一定间距以形成辉光放电区。本实用新型可以有效提高辉光放电区产生的等离子体的浓度和密度。

基本信息
专利标题 :
电极组件及使用该电极组件的等离子体发生装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921378963.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-23
授权号 :
CN210469844U
授权日 :
2020-05-05
发明人 :
吴军朱劼吴萍
申请人 :
常州汉劼生物科技有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区西太湖科技产业园兰香路8号的研发车间4
代理机构 :
常州市科谊专利代理事务所
代理人 :
言倩玉
优先权 :
CN201921378963.X
主分类号 :
H05H1/46
IPC分类号 :
H05H1/46  
法律状态
2020-05-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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