等离子体发生装置
授权
摘要
一种等离子体发生装置包括：阴极组件，包括阴极；阳极组件，包括阳极筒和包围阳极筒的阳极冷却腔，所述阳极冷却腔具有阳极冷却入口，所述阳极冷却入口用于向所述阳极冷却腔内输送冷却介质，所述冷却介质用于对阳极筒进行冷却，所述阳极筒的底部与阳极冷却腔之间通过螺纹连接，所述阳极筒与阴极之间形成等离子体发生空间。所述阳极筒与阳极冷却腔之间的密封性较好。
基本信息
专利标题 ：
等离子体发生装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020779604.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-12
授权号 ：
CN211792197U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
张宜东蔡珑元尹志尧
申请人 ：
中微惠创科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号205室
代理机构 ：
上海元好知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐雯琼
优先权 ：
CN202020779604.1
主分类号 ：
H05H1/34
IPC分类号 ：
H05H1/34 H05H1/28 H05H1/26
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法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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