保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置
公开
摘要
本发明提供一种能够将电极板悬挂保持于保持板的保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置。该保持部件在将电极板保持于保持板时使用,其包括:轴部,其具有内螺纹部；以及卡定部,其在俯视时与上述轴部相比在至少一个方向扩大形成。
基本信息
专利标题 ：
保持部件、上部电极组件、以及等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496704A
申请号 ：
CN202111299136.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-11-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
仙田孝博氏家智也佐藤诚人
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
吕琳
优先权 ：
CN202111299136.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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