等离子体激发部件及包括该部件的等离子体处理装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种等离子体激发部件及包括该部件的等离子体处理装置，所述等离子体激发部件包括激励源、第一阻抗适配器、电极板和第二阻抗适配器，所述激励源的输出端经所述第一阻抗适配器连接至所述电极板的一端，所述电极板的另一端经所述第二阻抗适配器接地。本实用新型的等离子体激发部件及包括该部件的等离子体处理装置能够改善大面积等离子体处理装置中的等离子体激励电场能量分布的均匀性。

基本信息

专利标题：

等离子体激发部件及包括该部件的等离子体处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820126146.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-06-20

授权号：

CN201238415Y

授权日：

2009-05-13

发明人：

杨与胜李沅民

申请人：

福建钧石能源有限公司

申请人地址：

362000福建省泉州市鲤城区南环路江南高新科技园区

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200820126146.0

主分类号：

H05H1/24

IPC分类号：

H05H1/24 H05H1/46 C23C16/44 H01J37/32