一种PCB等离子体处理用的平面电极
授权
摘要
本实用新型公开了一种PCB等离子体处理用的平面电极，所述电极板为空心盒子结构，由无盖盒子形状的底座和顶盖两部分构成，在底座上均匀的捞出细长的安装槽用于安置布气管路网，外部气体通过一个气体输入口进入到气体管网中，并均匀地分配到两个气体分支中，每个气体分支连接数量不等的布气管，气体由布气管下方的小孔溢出进入到电极间的等离子区域，在布气管网之间的间隙布置连续的液体盘管，液体盘管内通过对电极进行加热或冷却的导热液体，本实用新型的PCB等离子体处理用的平面电极，通过在电极内部布置供气管路，使得电极区域的气体分布均匀，从而改善PCB处理的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种PCB等离子体处理用的平面电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921756532.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-19
授权号 ：
CN210429732U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
陈培峰宗泽源刘庆峰程凡雄汤家云
申请人 ：
扬州国兴技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市江都区大桥镇白沙中路1号科技大厦
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921756532.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
