双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置
公开
摘要
本发明涉及一种双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置，其中真空腔体中设有壁面带孔空心圆筒，且所述壁面带孔空心圆筒上端密封、下端开口且外壁与真空腔体底端密封连接，所述壁面带孔空心圆筒中设有电加热元件，且电加热元件下端由壁面带孔空心圆筒下端开口伸出至真空腔体外与外电源连接，在真空腔体顶端一侧设有抽真空系统、另一侧设有气压采集系统，在真空腔体外壁上对称设有两个凹板电极，在真空腔体一侧设有射频供电系统，且两个凹板电极均与射频供电系统相连。本发明通过加热及射频电磁场耦合方式有效弥补单纯加热中大体积吸气剂激活时间长的缺点，且射频放电产生的等离子体能改善加强吸气剂吸气速率。
基本信息
专利标题 ：
双板射频容性耦合放电等离子体加强型吸气剂装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114615785A
申请号 ：
CN202011431851.3
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2020-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨亮李庆伟耿自才石文波李永钊吴克难赵天亮周冬建回晓康金玉奇
申请人 ：
中国科学院大连化学物理研究所
申请人地址 ：
辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
许宗富
优先权 ：
CN202011431851.3
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46 B01D53/02
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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