本实用新型公开了一种工业废气的容性耦合放电处理装置，包括集气罩、除尘过滤器、等离子体发生器、高频电源、旋片式真空泵、主烟道六个部分；上述集气罩与除尘过滤器相通，除尘过滤器的另一端通过管道与等离子体发生器的进气口连通，高频电源与等离子体发生器并联，等离子体发生器的出气口与旋片式真空泵相连，真空泵的另一端连接主烟道，主烟道与大气相通；本装置利用了容性耦合等离子体，容性耦合等离子体具有放电效率高，可在空间上产生大体积的、纯净的、均匀发光的低温等离子体、等离子体点燃、维持比较容易的特点；本装置布置紧凑合理，既节约了空间又方便操作，适用于大流量有机废气的处理。