用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它涉及一种常压等离子体抛光设备。本实用新型的目的是为解决常规的机械式研抛方法在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、容易产生表层及亚表层损伤和内炬管易腐蚀，成本高，系统的维护性不好，等离子体火焰外形难以控制等问题。本实用新型阴极(6)的外壁与外套(9)的内壁之间形成水冷环形空间(13)，阳极水冷导管(1)设置在阳极(5)的内腔(16)内。本实用新型不需要真空室，其等离子体火焰的外形可根据需要更换不同的端部盖板加以控制，有利于控制加工轨迹的重复性。不会像真空等离子体那样对超光滑表面造成表面损伤、亚表层损伤和表面污染，实现了光学零件的高效率高质量加工。
基本信息
专利标题 ：
用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620021020.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-06-14
授权号 ：
CN2917929Y
授权日 ：
2007-07-04
发明人 ：
张巨帆王波张龙江董申
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨市松花江专利商标事务所
代理人 ：
刘同恩
优先权 ：
CN200620021020.8
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2009-08-12 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-07-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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