本实用新型涉及石英玻璃棒杂质去除技术领域，且公开了去除石英玻璃棒杂质的装置，包括底座、第一连熔炉、入料口和一号高频电磁加热器，所述底座的左上端设置有制氢机，所述制氢机的上端连接有输氢管道，本实用新型直接将石英粉体加入连熔炉内生产，并通过高温焙烧、熔融、加入双循环氦气置换气态杂质排放，同时，再通过真空中频炉二次高温加热处理，加入氦气双循环回流工艺，排放各种金属杂质、非金属杂质、气态杂质的目的，一体式生产和去除石英靶棒杂质与羟基，替代了目前应用的连熔生产石英棒，二次运用真空脱羟炉进行脱羟处理的技术效果，减少了生产环节，达到一次性处理杂质与羟基含量的最佳效果，达到总杂质含量与羟基含量达到≤10ppm。