用于TOPCon电池的清洗设备
授权
摘要
本申请提供了一种用于TOPCon电池的清洗设备，包括刻蚀槽、设置在所述刻蚀槽前端的氧化装置、位于所述氧化装置与刻蚀槽之间的掩膜槽；所述氧化装置包括传输组件、设置在所述传输组件上方的喷气组件、连接所述喷气组件的臭氧发生器。本申请清洗设备通过氧化装置可在电池片背面的多晶硅膜层上生成氧化层，提高亲水性能，使得所述电池片背面可在所述掩膜槽形成均匀稳定的水保护膜，避免所述电池片背面的多晶硅膜层在流经所述刻蚀槽时出现腐蚀损伤；也能较好地避免电池片正面绕镀的多晶硅膜层氧化，利于电池片正面的多晶硅膜层的清洗去除，提高良率。
基本信息
专利标题 ：
用于TOPCon电池的清洗设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022126156.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
CN212725345U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
陈海燕邓伟伟沈雯
申请人 ：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 ：
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
胡彭年
优先权 ：
CN202022126156.8
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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