一种甩胶腔体结构
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摘要
本实用新型涉及一种甩胶腔体结构，它包括腔体(1)，所述腔体(1)内设置有转轴(2)，所述转轴(2)顶部设置有托盘(3)，所述腔体(1)内壁上均匀设置有多个挡板(4)。本实用新型一种甩胶腔体结构，它能够解决传统结构腔体在甩胶过程中出现的因胶体反溅到晶圆边缘导致胶层偏厚以及胶体颗粒残留的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种甩胶腔体结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022126686.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-25
授权号 ：
CN213792317U
授权日 ：
2021-07-27
发明人 ：
吴涛
申请人 ：
江苏长电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号
代理机构 ：
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 ：
赵海波
优先权 ：
CN202022126686.2
主分类号 ：
B05B12/36
IPC分类号 ：
B05B12/36 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B12/00
控制排出量的装置；控制喷雾区域的装置
B05B12/16
控制喷射区域
B05B12/32
屏蔽元件，即防止过喷到达除被喷射物体之外区域的元件
B05B12/36
侧挡板，即在基本上平行于喷射射流的方向上延伸的挡板
法律状态
2021-07-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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