固态薄膜电池制造设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种固态薄膜电池制造设备，其包括沉积腔，沉积腔中设置有传输机构、第一电极膜层沉积机构、电解质沉积机构、第二电极膜层沉积机构及激光刻蚀机构；传输机构用于承载衬底，其移动路径依次经过第一电极膜层沉积机构、电解质沉积机构和第二电极膜层沉积机构；第一电极膜层沉积机构用于沉积第一电极膜层；电解质沉积机构用于沉积固态电解质膜层；所述第二电极膜层沉积机构用于沉积第二电极膜层；激光刻蚀机构用于刻蚀第一电极膜层形成第一纹路、刻蚀固态电解质膜层形成第二纹路及刻蚀第二电极膜层形成第三纹路。该固态薄膜电池制造设备实现了固态薄膜电池连续化的制备生产。

基本信息

专利标题：

固态薄膜电池制造设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022133154.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-25

授权号：

CN214797504U

授权日：

2021-11-19

发明人：

谭志张艳芳

申请人：

维达力实业（深圳）有限公司

申请人地址：

广东省深圳市龙岗区坂田街道雅园路3号3楼、4楼、5楼、6楼的1、2、3、4层

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

潘艳丽

优先权：

CN202022133154.1

主分类号：

H01M10/058

IPC分类号：

H01M10/058 H01M10/0525