一种位移定位侦测装置与系统

授权

摘要

本申请提供了一种位移定位侦测装置与系统，涉及定位侦测技术领域。该位移定位侦测装置包括硅片承载器，用于承载硅片；牵引器，与硅片承载器连接，并用于牵引硅片承载器沿预设定轨迹移动；位移传感器，与硅片承载器连接，并在牵引器从第一起始位置移动至第一终点位置时，检测硅片承载器是否从第二起始位置移动至第二终点位置。本申请提供的位移定位侦测装置与系统具有能够对牵引失败的情况进行有效识别的优点。

基本信息

专利标题：

一种位移定位侦测装置与系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022150190.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-25

授权号：

CN212747665U

授权日：

2021-03-19

发明人：

叶順成

申请人：

泉芯集成电路制造(济南)有限公司

申请人地址：

山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

李莎

优先权：

CN202022150190.9

主分类号：

G01B7/00

IPC分类号：

G01B7/00