托料治具循环机构

授权

摘要

本实用新型公开一种托料治具循环机构，该托料治具循环机构包括托料治具、送料模组、回料模组和升降装置。托料治具用于放置待清洗的物料，送料模组包括并行且间隔排布的两条送料导轨、以及滑动安装于两条送料导轨上的送料件。两条送料导轨的间隔大于托料治具在两条送料导轨的排布方向上的宽度，送料件呈具有开口的半包围结构并能够定位以及带动托料治具移动。回料模组设于送料模组的两条送料导轨之间且位于送料件的下方，并能够带动托料治具移动。升降装置设于回料模组的下方，升降装置能够带动托料治具在送料模组和回料模组之间循环切换。本实用新型托料治具循环机构可有效提高等离子清洗机的清洗效率。

基本信息

专利标题：

托料治具循环机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022159948.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-27

授权号：

CN213701066U

授权日：

2021-07-16

发明人：

朱霆叶贤斌李文强杨建新张凯

申请人：

深圳泰德半导体装备有限公司

申请人地址：

广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区工业区坪山镇豪威新材料厂区3#综合楼103

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司

代理人：

孔德丞

优先权：

CN202022159948.5

主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B7/00 B08B13/00