HVPE密闭式手动加镓装置
授权
摘要
本实用新型公开了HVPE密闭式手动加镓装置，它包括：镓容器（1）；镓舟（2），所述镓舟位于镓容器下方；第一手动阀门（3），所述第一手动阀门连通于镓容器底部；第二手动阀门（4），所述第二手动阀门分别与第一手动阀门和镓舟连通；第一气动阀（5），所述第一气动阀一端接入在第一手动阀门和第二手动阀门之间，另一端与外界连通。本实用新型的有益效果是利用控制系统，实现密闭人工加镓，能很好的去除加镓装置的空气和加镓过程中空气的进入。大大改善了因加镓污染腔体的环境。更好地保证反应腔反应环境同时提高了产品的良率，减小了不必要的生产成本。而且所用装置的结构简单消耗件少，更有效地降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
HVPE密闭式手动加镓装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022168536.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN213327939U
授权日 ：
2021-06-01
发明人 ：
李枝旺王亮
申请人 ：
镓特半导体科技（铜陵）有限公司
申请人地址 ：
安徽省铜陵市经济技术开发区天门山北道3139号
代理机构 ：
铜陵市嘉同知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴晨亮
优先权 ：
CN202022168536.8
主分类号 ：
C30B29/42
IPC分类号 ：
C30B29/42 C30B29/40 C30B23/02 C23C14/06 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
C30B29/42
砷化镓
法律状态
2021-06-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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