微机电结构、电子烟开关以及电子烟
授权
摘要
本申请公开了一种微机电结构、电子烟开关以及电子烟，该微机电结构包括衬底，具有腔体；振动膜，位于衬底上并覆盖腔体；以及背板，位于振动膜上，与振动膜之间具有间隙，其中，背板包括电极板以及包覆电极板的绝缘层，电极板与振动膜至少被绝缘层电隔离。该微机电结构通过在背板中设置包覆电极板的绝缘层，从而改善了由于油污等污染物导致微机电结构中背板与振动膜短路的问题。
基本信息
专利标题 ：
微机电结构、电子烟开关以及电子烟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022169219.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN213754953U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
荣根兰孟燕子孙恺胡维
申请人 ：
苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW09-501
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202022169219.8
主分类号 ：
H04R19/01
IPC分类号 ：
H04R19/01 H04R19/04
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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