一种差压式流量传感器
授权
摘要
本公开提供一种差压式流量传感器，包括：基板，设置有容纳腔以及与容纳腔相连通的第一进压孔和第二进压孔；压力敏感芯片，位于所述容纳腔内，压力敏感芯片具有高压腔、低压腔以及压力感应层，所述压力感应层位于所述高压腔与所述低压腔之间；以及，所述高压腔与所述第一进压孔相连通，所述低压腔与所述第二进压孔相连通。本公开的差压式流量传感器，可以利用第一进压孔和第二进压孔分别向高压腔和低压腔内引入流经节流装置前后的压力，并经由压力感应层测量得出压差信号，再经过调理芯片将信号进行滤波、放大、换算及输出，从而实现流量的测量。本实施例的差压式流量传感器，结构简单，安装方便，兼具温度的测量并且具有较高的测量精度。
基本信息
专利标题 ：
一种差压式流量传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022170235.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN214251115U
授权日 ：
2021-09-21
发明人 ：
林智敏熊金龙陆强
申请人 ：
无锡芯灵微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区滴翠路100号创意产业园9幢1楼
代理机构 ：
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 ：
李明
优先权 ：
CN202022170235.9
主分类号 ：
G01F1/37
IPC分类号 ：
G01F1/37 G01F1/56
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/05
应用机械效应
G01F1/34
通过测量压力或压差
G01F1/36
应用流动收缩产生的压力或压差
G01F1/37
利用流体水平面可变动的连通管或容器测量压力或压差，例如，应用U型管
法律状态
2021-09-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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