MEMS热式流量传感器
授权
摘要
本实用新型公开了MEMS热式流量传感器，包括管道，所述管道的内侧壁上固定连接两个有固定板，两个所述固定板之间通过转动装置连接有转动杆，所述转动杆上固定连接有转动轮。本实用新型当气流温度较低时，热敏板不会产生形变，转动轮抵在热敏板上所产生的摩擦力，使得转动轮不会转动，当气流温度过高时，热敏板将会产生向外凸起的形变，说得转动轮与热敏板之间产生空隙，进而转动轮进行转动，转动轮快速转动过程中，会将气流的热能快速消耗转化为转动轮的动能，进而使得气流进行降温，该装置设计合理，构思巧妙，可将高温的气流的进行降温，大大延缓传感器的老化，延长传感器的使用寿命，实用性高。
基本信息
专利标题 ：
MEMS热式流量传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022488474.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-02
授权号 ：
CN213903402U
授权日 ：
2021-08-06
发明人 ：
孙京飞
申请人 ：
无锡灵芯智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A10幢10层1002
代理机构 ：
西安万知知识产权代理有限公司
代理人 ：
贾凌志
优先权 ：
CN202022488474.9
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2021-08-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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