热式流量传感器及其制作方法
公开
摘要
本申请公开了一种热式流量传感器及其制作方法，所述热式流量传感器包括：上游热敏元件和下游热敏元件，分立形成在基底的表面；加热电阻，形成在基底的表面并位于上游热敏元件和下游热敏元件之间，用于通电加热上游热敏元件和下游热敏元件；通孔，沿垂直于基底的表面的方向，形成在加热电阻中，以使加热电阻形成第一电阻和第二电阻，第一电阻位于加热电阻面向上游热敏元件的一端，第二电阻位于加热电阻面向下游热敏元件的一端，第一电阻和第二电阻对称且并联。本申请可以解决现有热式流量传感器因热量扩散不均匀而影响测量精度的问题，同时可以提高传感器的灵敏度。
基本信息
专利标题 ：
热式流量传感器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577287A
申请号 ：
CN202210202276.2
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨绍松刘同庆曹锦云柳雪
申请人 ：
无锡芯感智半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A10幢3层
代理机构 ：
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 ：
李明
优先权 ：
CN202210202276.2
主分类号 ：
G01F1/69
IPC分类号 ：
G01F1/69
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/68
应用热效应
G01F1/684
结构配置；元件安装，例如与液流有关的
G01F1/688
利用特殊类型的加热、冷却或传感元件
G01F1/69
电阻型的
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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