带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备
授权
摘要
本实用新型公开一种带精密测量的可控升降装置及光刻设备，装置包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，固定基座与导向座固定连接，固定基座上有轴线竖向的导向套，移动组件包括升降头、导向杆、磁钢，导向杆上端有安装孔，导向杆穿过导向套，导向杆与导向套以及固定基座、导向座之间形成气浮接触面；磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使升降头伸出导向套上端，驱动组件包括电机线圈和铁芯，铁芯设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，移动组件中心有气孔，固定基座通过导向杆的气道向气孔提供正压或负压气体。本实用新型采用气浮接触面导向减少零部件之间的摩擦，避免颗粒产生，并提高运动精度，减少电机驱动力要求。
基本信息
专利标题 ：
带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022170608.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
CN212341676U
授权日 ：
2021-01-12
发明人 ：
成荣朱煜张鸣杨开明刘相波
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 ：
董永辉
优先权 ：
CN202022170608.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-01-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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