可预倾的真空环境加热装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空环境加热领域，提供了一种可预倾的真空环境加热装置，包括预倾机构、加热单元、热电偶和隔热单元；预倾机构位于加热装置最下方，其上为加热单元，热电偶在加热单元内部，隔热单元覆盖在加热单元的四周和顶部。通过在预倾机构中设置的两个圆弧导轨副实现加热装置一定角度范围的预倾，配合固定倾转角的预倾底座可以满足EBSD测试需要的70°倾角。满足在扫描电子显微镜中一个加热装置兼具水平高分辨测试和EBSD测试的功能需求，具有低使用成本、无外加磁场干扰、整体隔热效果显著、热电子外溢范围可控、高温成像有保障的特点。
基本信息
专利标题 ：
可预倾的真空环境加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022187534.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-29
授权号 ：
CN213239982U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
李吉学党理
申请人 ：
杭州源位科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市萧山建设四路4083幢新街科创园C座
代理机构 ：
北京金智普华知识产权代理有限公司
代理人 ：
巴晓艳
优先权 ：
CN202022187534.3
主分类号 ：
G01N23/2251
IPC分类号 ：
G01N23/2251 H01J37/02 H05B3/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N23/00
利用波或粒子辐射来测试或分析材料，例如未包括在G01N3/00-G01N17/00、G01N 21/00 或G01N 22/00中的X射线或中子
G01N23/22
通过测量材料的二次发射
G01N23/225
利用电子或离子微探针
G01N23/2251
使用入射电子束，例如扫描电子显微镜
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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