高纯铬钛合金靶表面研磨装置
授权
摘要
本实用新型公开了高纯铬钛合金靶表面研磨装置，包括底座、合金靶，所述底座上通过两个支撑杆固定安装有顶板，所述底座上通过转辊转动安装有放置盒，且放置盒内固定安装有垫块，且合金靶放置在垫块上，所述放置盒内安装有两个夹持机构，所述放置盒上固定安装有齿环，所述顶板上通过伺服电机转动安装有主动轮、转盘，所述转盘上通过移动机构安装有研磨盘，所述顶板上通过转杆转动安装有从动轮、齿轮，且主动轮与从动轮之间固定套设有传动带，且齿轮与齿环相啮合。优点在于：通过采用单电机带动研磨盘与合金靶进行互为反向转动的研磨方式，能够较为快速的对研磨盘进行研磨，研磨效率较高，且可对研磨时产生的部分粉末进行收集，实用性较强。
基本信息
专利标题 ：
高纯铬钛合金靶表面研磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022192835.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213999045U
授权日 ：
2021-08-20
发明人 ：
王永超赵泽良
申请人 ：
河南东微电子材料有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层
代理机构 ：
郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李伟
优先权 ：
CN202022192835.5
主分类号 ：
B24B37/10
IPC分类号 ：
B24B37/10 B24B37/30 B24B37/34 B24B47/00 B24B47/12 B24B55/06 B24B55/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2021-08-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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