一种磁控等离子体设备
授权
摘要
一种磁控等离子体设备，包括机柜、盖板、卡扣、过滤板、支撑架；等离子发生器、限位机构和风机；支撑架设置有多组，多组支撑架均设置在机柜内部；过滤板设置有多个，多个过滤板从上至下依次滑动设置在多个支撑架上；风机设置在机柜内，且位于机柜的下端；等离子发生器设置在机柜内部，等离子发生器位于过滤板和风机之间；盖板和卡扣均设置有多个，且多个卡扣分别设置在多个盖板上；卡扣滑动设置在第二滑动槽内；限位机构设置在机柜上，限位机构的一端与卡扣卡接。本实用新型通过盖板和卡扣对过滤板进行限位，限位机构对卡扣进行限位，当限位机构解除对卡扣的限位后，就能够将过滤板从机柜中取出，能够实现快速拆装，减少停机时间。
基本信息
专利标题 ：
一种磁控等离子体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022194007.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213725432U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
朱云
申请人 ：
广州环形科技有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区大龙街长沙路29号1栋106房
代理机构 ：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘棚滔
优先权 ：
CN202022194007.5
主分类号 ：
B01D46/12
IPC分类号 ：
B01D46/12 B01D53/32
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
B01D46/12
多排的
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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