基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器及流量计
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器及流量计。该变送器用于与任何一种节流装置、以及通过插在管道中的热电阻并用于采集管道内介质的温度信号的外置温度传感器连接，包括：壳体，以及设置在壳体内用于采集节流装置差压信号的MEMS差压传感器、用于采集管道内介质的压力信号及其所在位置的环境温度信号的MEMS压力传感器、主板和传感器板；MEMS差压传感器、MEMS压力传感器和外置温度传感器分别与传感器板电性连接；主板和传感器板电性连接。本实用新型用于气体微差压/超大差压芯片、压力芯片和温度传感器测量和计算，将多变量信号变送输出，用于解决超大流程比的气体质量测量，具有相当的测量精度。
基本信息
专利标题 ：
基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器及流量计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022214876.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213239057U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
廖荣忠孙亚林魏武学万驹
申请人 ：
迈科洛（广州）仪表有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区蓝玉四街9号1号厂房202房
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈旭红
优先权 ：
CN202022214876.X
主分类号 ：
G01F1/88
IPC分类号 ：
G01F1/88
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/76
测量流体或流动固体材料质量流量的装置
G01F1/86
间接式质量流量计，例如，测量流量、密度、温度或压力
G01F1/88
测量压差以确定流量
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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