流量检测装置及气体质量流量控制器
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种流量检测装置及气体质量流量控制器，该装置包括主通道、旁通通道和MEMS流量传感器，其中，主通道用于传输被测气体，且在主通道中设置有分流器；旁通通道的两端分别在分流器的进气端和出气端两侧与主通道连通，且旁通通道包括沿气体传输方向依次设置的渐缩段、直管段和渐扩段，其中，直管段的水力直径满足使通过直管段的气体流动状态为层流；MEMS流量传感器设置于直管段的通道壁上，且MEMS流量传感器的检测面暴露于直管段中，用于检测直管段中的气体流量。
基本信息
专利标题 ：
流量检测装置及气体质量流量控制器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114460980A
申请号 ：
CN202210129263.7
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-02-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
何漫丽牟昌华苏乾益
申请人 ：
北京七星华创流量计有限公司
申请人地址 ：
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭瑞欣
优先权 ：
CN202210129263.7
主分类号 ：
G05D7/06
IPC分类号 ：
G05D7/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D7/00
流量控制
G05D7/06
以使用电装置为特征的
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G05D 7/06
申请日 : 20220211
申请日 : 20220211
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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