气体质量流量控制器检测模块及设备
授权
摘要
本实用新型涉及一种气体质量流量控制器检测模块及设备，该设备包括：设备本体；设备本体上设置有：操作台、检测模块、气源提供模块、数据采集模块、电源提供模块；操作台与检测模块，通过第一待测气体质量流量控制器接入接口相连；气源提供模块与检测模块相连；数据采集模块与检测模块相连；电源提供模块，分别与数据采集模块、检测模块相连。通过设立不同气源，实现同时检测不同气源要求的MFC的检测，设定多路气路，增加了检测个数，实现综合性的MFC性能指标参数检测，测试并评价MFC精度，线性，重复性，响应时间等全部基于国标参数的关键参数，并能够实现多种控制模式的自动检测，数据记录，自动打印报告。
基本信息
专利标题 ：
气体质量流量控制器检测模块及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020355928.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-19
授权号 ：
CN211403235U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
马弢牛晓张福林杨健
申请人 ：
北京晓韬科技有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区胡家垡村甲8号院9号楼13层1330室
代理机构 ：
北京细软智谷知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
张雄
优先权 ：
CN202020355928.2
主分类号 ：
G05B23/02
IPC分类号 ：
G05B23/02 G05D7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B23/02
•电检验式监视
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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