本实用新型揭示一种多路气体质量流量控制器用控制模块，包括电源模块、微处理器模块、数据转换模块、驱动模块和通讯模块，微处理器模块与电源模块电连接，数据转换模块、驱动模块和通讯模块均与微处理器模块电连接，数据转换模块用于与多路气体质量流量控制器电连接，驱动模块用于与多路电动截止阀电连接，电动截止阀的数量与气体质量流量控制器的数量相同，各个气体质量流量控制器均与电源模块电连接，通讯模块用于与上位机通讯连接；本实用新型将气体质量流量控制器工作时所需的电源、流量控制功能和流量测量功能合为一体，这样一来，能够降低器件的配线成本，且有利于整个控制系统的模块化。