一种气体质量流量控制器
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种通过传感器,经过电量转换电路控制流量控制阀而控制气体质量流量的控制器。包括一中空的基体,设置在基体内部的一流量检测器,一电路板,一流量控制阀,一与基体紧密螺接的中空的本体,设置在本体内的一气体流层通道,所述流量控制阀的阀头与阀体之间设有抗疲劳高的双弹簧片调节机构,阀头与阀座之间设置为接触面积较大的平面接触,入口压力大,降低漏气率。通过能够直接定位的双弹簧片的调节机构,提高了双弹簧片的抗疲劳强度,同时提高了流量控制阀的稳定性,入口压力大,漏气率降低,并且功耗降低的气体质量流量控制器。

基本信息
专利标题 :
一种气体质量流量控制器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620015915.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-11-20
授权号 :
CN200969048Y
授权日 :
2007-10-31
发明人 :
芦惠云
申请人 :
芦惠云
申请人地址 :
523009广东省东莞市南城区莞太大道255号广彩城宿舍20-304号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN200620015915.0
主分类号 :
G05D7/06
IPC分类号 :
G05D7/06  F16K1/00  F16K31/06  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D7/00
流量控制
G05D7/06
以使用电装置为特征的
法律状态
2016-03-30 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101653311852
IPC(主分类) : G05D 7/06
专利号 : ZL2006200159150
申请日 : 20061120
授权公告日 : 20071031
终止日期 : 20141120
2015-11-04 :
文件的公告送达
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101722949112
IPC(主分类) : G05D 7/06
专利号 : ZL2006200159150
专利申请号 : 2006200159150
收件人 : 芦惠云
文件名称 : 专利权终止通知书
2007-10-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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