一种新型质量流量控制器在线校验设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明涉及微电子技术领域，具体涉及用于半导体设备气路系统中MFC(质量流量控制器)的在线校验。本发明公开的一种新型质量流量控制器在线校验设备，包括：温度传感器、真空规，气路盒及与其连接的质量流量控制器，干泵，还包括：腔室、常闭入口阀、常闭出口阀及其控制装置，其中，常闭入口阀、常闭出口阀与腔室连接。
基本信息
专利标题 ：
一种新型质量流量控制器在线校验设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1851595A
申请号 ：
CN200510126343.3
公开（公告）日 ：
2006-10-25
申请日 ：
2005-12-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
南建辉
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
王常风
优先权 ：
CN200510126343.3
主分类号 ：
G05B23/02
IPC分类号 ：
G05B23/02 G05D7/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05B
一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B23/02
•电检验式监视
法律状态
2018-08-21 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/66
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2009-09-23 ：
授权
2006-12-20 ：
实质审查的生效
2006-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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