一种质量流量控制器在线校验的方法

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本发明涉及微电子技术领域。本发明公开的一种质量流量控制器在线校验的方法，包括：1)读取MFC校准前吹扫次数参数，吹扫将要测试的气体管路，并对反应室抽真空；2)打开正在测试的气体管路阀门，通入反应室，设定质量流量控制器(MFC)流量；3)等气体流量稳定之后，关闭摆阀，通过真空规(CM1)来测量整个反应室在一定时间内的压升率；4)通过压升率计算得到质量流量控制器(MFC)的流量。

基本信息

专利标题：

一种质量流量控制器在线校验的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1851596A

申请号：

CN200510126345.2

公开（公告）日：

2006-10-25

申请日：

2005-12-07

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

南建辉

申请人：

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

王常风

优先权：

CN200510126345.2

主分类号：

G05B23/02

IPC分类号：

G05B23/02 G05D7/06 H01L21/00

IPC结构图谱

G部——物理

G05

控制；调节

G05B

一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置

G05B23/02

•电检验式监视

法律状态

2018-08-10 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : H01L 21/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

2008-12-17 ：

授权

2006-12-20 ：

实质审查的生效

2006-10-25 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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2、

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