一种晶圆水平传输载具
授权
摘要

本实用新型涉及一种晶圆水平传输载具,包括主体、放置圈、支撑组件以及标识;所述放置圈具体位于主体的中部,所述主体包括上面和下面,所述支撑组件具体位于放置圈内,所述支撑组件在放置圈内有多个,所述标识位于上面上,所述放置圈贯通主体,所述支撑组件位于放置圈内靠近下面处,所述主体上设置有镂空部,所述镂空部和放置圈交汇,所述镂空部关于放置圈对称,所述镂空部有多个。本实用新型提供一种晶圆水平传输载具,避免了晶圆和搬运机构接触,确保了搬运过程中晶圆的稳定性,提高了搬运晶圆的方便程度。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆水平传输载具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022255432.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-12
授权号 :
CN213293050U
授权日 :
2021-05-28
发明人 :
陈云利王健李军周志强
申请人 :
苏州尊恒半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市玉山镇南淞路303号2号房
代理机构 :
苏州拓源科佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵艾亮
优先权 :
CN202022255432.0
主分类号 :
B65D19/22
IPC分类号 :
B65D19/22  B65D19/38  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D19/00
托盘或类似的平板,带有或不带有用于支承升降载荷的侧壁
B65D19/22
不带侧壁的刚性托盘
法律状态
2021-05-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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