微谐振器
授权
摘要
本实用新型提供了一种微谐振器，包括基底、设于所述基底内的驱动部件、设于所述基底上的绝缘层以及设于所述绝缘层上的滑动部件，所述滑动部件和所述绝缘层相接触，且所述滑动部件和所述绝缘层的贴合面原子级光滑的表面接触，对驱动部件施加电压，使得滑动部件能够在绝缘层上水平运动，滑动部件和驱动部件之间的相对位置发生改变，其移动的相对位移很大，且结构相适应，能够在真正的微米尺度上实现谐振功能。谐振器的谐振频率可以通过调节施加电压的大小来调节，由于摩擦力极低且无磨损，可以实现较低的驱动电压、极高的使用寿命和功率处理能力，其调节的范围从0至1000MHZ，能够实现100％的范围调频，且使用寿命较长。
基本信息
专利标题 ：
微谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022261968.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
CN213402953U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
郑泉水吴章辉向小健
申请人 ：
深圳清华大学研究院;清华大学
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区科技园高新南七道深圳清华大学研究院
代理机构 ：
深圳市惠邦知识产权代理事务所
代理人 ：
满群
优先权 ：
CN202022261968.3
主分类号 ：
H03H9/125
IPC分类号 ：
H03H9/125 H03H9/02
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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