本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路与第二气体支路，所述第一气体支路的内部包含有第一气体浮子流量计、第一气体质量流量计与第一气动波纹阀，所述第二气体支路的内部包含有第二气体浮子流量计、第二气体质量流量计与第二气动波纹阀，所述第一气动波纹阀的底部固定连接有气体汇流排，可以不用依靠与气体浮子流量计的对比，来判断气体质量流量计准确度，还可以在CVD设备未生产的任何时间，对所有的气体质量流量计主动进行流量校准，可主动排查是否有质量流量计的流量有偏差，方便及时，减少生产浪费和产品的故障率。