板卡盒

授权

摘要

本实用新型提供一种板卡盒，涉及光刻机的技术领域。该板卡盒，包括盒体和板卡组，盒体设置有容纳腔，板卡组安装于容纳腔内，板卡组包括平行且间隔设置的第一板卡和第二板卡，第一板卡具有用于与背板插接的第一接头，第二板卡具有用于与背板插接的第二接头，第一接头和第二接头均设置于第一板卡和第二板卡之间。当第一板卡和第二板卡之间的距离不变时，该板卡组的总高度减小，从而能够减小板卡盒的体积以及占用空间。

基本信息

专利标题：

板卡盒

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022283870.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-10-14

授权号：

CN213715825U

授权日：

2021-07-16

发明人：

蒙小刚周玮

申请人：

北京华卓精科科技股份有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区经海路156号院10号楼4层

代理机构：

北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王献茹

优先权：

CN202022283870.8

主分类号：

G06F1/18

IPC分类号：

G06F1/18